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| No.20 22.Aug.2005 |
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NTT物性科学基礎研
高感度の新型カンチレバーの作製に成功
超伝導体と半導体の接合を組み込み
低温SPMや量子ビットの読み出しに有望
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NTT物性科学基礎研究所のナノ加工研究グループの岡本創リサーチアソシエイトらは、高感度に変位や力を検出する新型のカンチレバーの作製に成功した。半導体薄膜上に超伝導体の微細ギャップ構造をパターニングした超伝導体-半導体-超伝導体（S-Sm-S）接合を組み込んであり（Fig１）、カンチレバーの先端にかかる微小な力や変位を接合部の「ひずみ」による電気抵抗変化（ピエゾ抵抗）として高感度に検出する。微細化や集積化に適した自己検知型の超高感度メカニカルセンサーとして、低温走査型プローブ顕微鏡（SPM）や量子ビットの読み出し技術への応用が期待される。
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