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No.72 2004.10.25 |
ナノレベル目指す超精密加工
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電解研磨法や化学反応を組み合わせて実現 ミラー、レンズ、金属などの超平たん化を担う
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| 電解研磨法や化学反応を利用して、材料表面をナノメートルレベルの精度で加工することを目指す精密加工の研究成果が上がっている。利用分野も天体望遠鏡用の高精度ミラーやマイクロレンズ、さらに半導体材料や金属の超平たん化など多様だ。わが国のモノづくり技術の中核に育っていくと期待されている超精密加工技術の研究開発の実情を探った。
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| ＜この続きは「日経先端技術」72号に掲載されています。＞ |
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